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日志

 
 

如何產生電漿?  

2009-04-16 20:00:58|  分类: 生活 |  标签: |举报 |字号 订阅

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電漿的產生主要是靠電子去撞擊中性氣體原子,使中性氣體原子解離而產生電漿,但中性氣體原子的原子核對其外圍的電子有一束縛的能量,我們稱它為束縛能,而外界的電子能量必須大於此束縛能,才會有能力解離此中性氣體原子。但是,此外界的電子往往是能量不足的,沒有解離中性氣體原子的能力,所以,我們必須用外加能量的方法給電子能量,使電子有能力解離此中性氣體原子。

要外加能量給電子,最簡單的方法就是用平行電極板加一直流電壓,電子在電極中,會被帶正電之電極所吸引而加速,在加速的過程中,電子就可以累積能量,當電子的能量達到某一程度時,就有能力來解離中性氣體原子。本公司產品主要以感應耦合式電漿(ICP, Inductively Coupling Plasma)技術為基礎,感應耦合式電漿係一高密度電漿,電漿密度可以高達1012 ~ 1013 /cm3,對於產品之電漿處理具備很高之效益,不過,高密度感應耦合式電漿之產生取決於電極的設計,因此電極的設計便成了電漿產生之最重要課題。

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